简述光刻机的工作原理

发布时间：2020-09-10

  今天，我们来简单叙述关于光刻机的不同部位的不同基本原理。首先一般来说，光刻机是用激光在玻璃上刻蚀图形,分为1.清洗玻璃、2.干燥、3.在玻璃上涂覆光致抗蚀剂、4.干燥、5.曝光、6去胶这几个步骤。

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