激光全息技术利用什么制作各种全息像的技术
发布时间:2020-09-10
采用CCD检焦系统实现整场调平、自动逐场调焦或自动选场调焦曝光。10倍缩小投影光刻物镜成像,一次曝光面积约10mm×10mm 采用专利技术——积木错位蝇眼透镜实现均明,进口精密光栅、进口电机、进口导轨、进口丝杠实现精确工件定位和曝光拼接,可适应2英寸、3英寸、4英寸、6英寸基片。具备对准和套刻功能,操作方便、实用性强。
照明系统:冷光椭球镜; 350W进口直流高压汞灯(德国欧司朗); XYZ汞灯调节台; 光学系统:固定光栏、可变
上一条:激光全息模压机提高工作效率下一条:激光全息光刻机用途